Vide (Mesure et Régulation)

Le vide est une pression inférieure à 1013 mbar le plus souvent exprimé en Torr. Il existe plusieurs méthodes pour mesurer le vide avec la méthode directe de mesure de pression définie comme une Force/Surface ou avec des méthodes indirectes utilisant les propriétés des gaz comme la conductivité thermique, la viscosité ou l'ionisation des électrons.

La jauge Brooks utilise la méthode directe par le mesure de la capacité entre une électrode fixée à un vide de référence et la déformation d'une membrane en inconel donc directement proportionnelle à la mesure du vide. Ces jauges sont numériques (sans potentiomètres), très précises, très stables et très reproductibles pour les procédés exigeants. Elles peuvent être non chauffées pour applications standards ou chauffées à 45°, 100°C ou 160°C (régulation @ 0,1°C) pour toujours rester au-dessus du point de condensation du gaz mesuré et améliorer précision et reproductibilité.

Leur durée de vie 3 X supérieure dans des applications corrosives et permettent une maintenance prédictive via le port série.